| 測量參數 | 直流電阻 |
| 基本準確度 | 0.2% |
| 測量范圍 | 10μΩ～200kΩ |
| 信號源 | I - Max：<100mA (微電流測試，與日置3540兼容) |
| 量程 | 八量程自動和手動測試 |
| 測量速度 | 慢速：3次/秒 快速：10次/秒 |
| 顯示結果 | 直讀 |
| 最大讀數 | 5000 |
| 校正 | 全量程內短路清零 |
| 比較器 | OFF（關）PASS（合格）HI（高）LO（低） |
| 觸發方式 | 內部觸發 |
| 測試端 | 4端屏蔽（包括2個檢測端和2個驅動端）和外屏蔽地端 |
| 電源要求 | 電壓：198VAC～240VAC 頻率：50Hz 功率：15VA |
| 尺寸與重量 | 220mm×85mm×259mm 約2kg |
| 附件 | AT503：開爾文夾 |
| 可選附件 | ATL620 米電阻四端夾具 |
| 其他 | 0.8吋LED顯示 |